Abbildungsoptik und Projektionsbelichtungsinstallation für Mikrolitografie mit einer Abbildungsoptik Dieses Typs

EP2414884 Art A1 8. Februar 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2414884
Aktenzeichen: EP10711331
Anmeldetag: 11. März 2010
Veröffentlichung: 8. Februar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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