Plasmaverarbeitungsvorrichtung vom Typ mit Eingefügtem Isolator

EP2415897 Art B1 5. Juli 2017

Anmelder: Ferrotec Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2415897
Aktenzeichen
EP10758321
Anmeldetag
10. Februar 2010
Veröffentlichung
5. Juli 2017
Erteilung
5. Juli 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24H05H1/48H01J37/32C23C14/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ferrotec Corporation
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Buchhold, Jürgen Frankfurt am Main, Deutschland
341
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Hochbau & Gebäudetechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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