Plasmaätzvorrichtung

EP2416351 Art B1 7. August 2019

Anmelder: SPP Technologies Co., Ltd., Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2416351
Aktenzeichen
EP09842709
Anmeldetag
10. Dezember 2009
Veröffentlichung
7. August 2019
Erteilung
7. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H05H1/46H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SPP Technologies Co., Ltd.
Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Charles, Glyndwr München, Deutschland
563
Patente gesamt
28
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
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