Chemisch-Mechanisches Polieren von Siliziumcarbid Umfassenden Oberflächen, und Polierzusammensetzung
EP2419922
Art B1
19. Juli 2017
Anmelder: Sinmat, Inc., University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2419922
- Aktenzeichen
- EP10715401
- Anmeldetag
- 13. April 2010
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2017
- Erteilung
- 19. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/04H01L21/306H01L21/3105C09G1/02C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sinmat, Inc.
University of Florida Research Foundation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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