Strahlungsvorrichtung mit mehreren Typen Geladener Teilchen

EP2426695 Art B1 10. Juni 2015

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2426695
Aktenzeichen: EP10769456
Anmeldetag: 14. April 2010
Veröffentlichung: 10. Juni 2015
Erteilung: 10. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/244H01J37/317H01J37/26H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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