Optische Bildgebung mit Verringerten Immersionsflüssigkeitsverdampfungseffekten

EP2427802 Art B8 27. Mai 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2427802
Aktenzeichen: EP10720380
Anmeldetag: 4. Mai 2010
Veröffentlichung: 27. Mai 2015
Erteilung: 27. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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