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EP2433295
Art A2
28. März 2012
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2433295
- Aktenzeichen
- EP10726589
- Anmeldetag
- 19. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 28. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Mooij, Maarten
Amsterdam, Niederlande
86
Patente gesamt
18
Fachgebiete
7
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven