Anordnung zur Substratverarbeitung und Substratträger

EP2435597 Art B1 17. Oktober 2018

Anmelder: Beneq Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2435597
Aktenzeichen
EP10726140
Anmeldetag
21. Mai 2010
Veröffentlichung
17. Oktober 2018
Erteilung
17. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/458C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Beneq Oy
Land
🇫🇮 Finnland

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