Schlammzusammensetzung für Chemisch-Mechanische Polierung mit einem nicht Ionisierten Wärmeaktivierten Nanokatalysator und Polierungsverfahren damit
EP2439248
Art B1
3. April 2019
Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2439248
- Aktenzeichen
- EP10783537
- Anmeldetag
- 27. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 3. April 2019
- Erteilung
- 3. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321C09G1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dongjin Semichem Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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