Optische Elementeinheit und Verfahren zum Stützen eines optischen Elements

EP2444829 Art A1 25. April 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2444829
Aktenzeichen: EP12151463
Anmeldetag: 14. September 2006
Veröffentlichung: 25. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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