Optisches Bildgebungssystem zur Abbildung eines Objektfeldes in einem Bildfeld und Optisches Beleuchtungssystem zur Beleuchtung eines Objektfeldes

EP2446313 Art A2 2. Mai 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2446313
Aktenzeichen: EP10730395
Anmeldetag: 8. Juni 2010
Veröffentlichung: 2. Mai 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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