Eine Druckabgabevorrichtung zum Minimieren der Erzeugung von Partikeln in hochreinen Flüssigkeiten und Abgabeverfahren unter Verwendung einer solchen Vorrichtung

EP2447167 Art B1 23. April 2014

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2447167
Aktenzeichen
EP12151767
Anmeldetag
28. April 2003
Veröffentlichung
23. April 2014
Erteilung
23. April 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B65B3/22B65B1/04B65B3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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