System zur Spülung einer Retikelablage
EP2453310
Art B1
9. Dezember 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2453310
- Aktenzeichen
- EP12000081
- Anmeldetag
- 19. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2015
- Erteilung
- 9. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/673H01L21/687H01L21/67H01L21/677G03F1/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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