Antisymmetrische Scatterometrie mit Winkelauflösung
EP2457071
Art A1
30. Mai 2012
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2457071
- Aktenzeichen
- EP10802847
- Anmeldetag
- 21. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk
Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.
422
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte