Turbomolekularpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2458221

Aktenzeichen

EP11008601

Anmeldetag

27. Oktober 2011

Veröffentlichung

1. Juli 2020

Erteilung

1. Juli 2020

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/54

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe (1) mit einem Rotor (10) und einer Blechstatorscheibe (24, 26, 28), welche einen Schaufelkranz, einen Tragring (60, 70), eine erste Teilscheibe (50) mit einem ersten Tragringabschnitt (56, 72) und eine zweite Teilscheibe (52) mit einem zweiten Tragringabschnitt (58, 74) umfasst und eine Scheibenebene (54) festlegt. Um ein gegenseitiges Überlappen der Teilscheiben zu verhindern, wird vorgeschlagen, dass der erste Tragringabschnitt eine gegen die Scheibenebene verkippte Stoßfläche (64; 94; 96; 104) aufweist, gegen die der zweite Tragringabschnitt stößt.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete