Verfahren zum Messen der Temperatur einer Probe in einer optischen Vorrichtung mit geladenen Partikeln

EP2458354 Art A1 30. Mai 2012

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2458354
Aktenzeichen
EP10192354
Anmeldetag
24. November 2010
Veröffentlichung
30. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01K5/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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