Herstellung von Graphenelektronikbauelementen mittels Stufenoberflächenkontur

EP2458620 Art B1 1. Dezember 2021

Anmelder: IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2458620
Aktenzeichen
EP11177483
Anmeldetag
12. August 2011
Veröffentlichung
1. Dezember 2021
Erteilung
1. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L29/772H01L29/78H01L29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IHP GmbH-Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 IHP – Innovations for High Performance Microelectronics

Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.

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