Maskenzustandsmonitor mit Faradaysonde

EP2460173 Art A1 6. Juni 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2460173
Aktenzeichen: EP10740808
Anmeldetag: 30. Juli 2010
Veröffentlichung: 6. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/32H01L21/266

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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