Metallenolat-Vorläufer zum Ablagern von metallhaltigen Filmen
EP2460807
Art B1
16. September 2015
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2460807
- Aktenzeichen
- EP11191340
- Anmeldetag
- 30. November 2011
- Veröffentlichung
- 16. September 2015
- Erteilung
- 16. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F17/00C23C16/455C07F7/28C23C16/18C23C16/40
Abstract
Organometallic compounds suitable for use as vapor phase deposition precursors for metal-containing films are provided. Methods of depositing metal-containing films using certain organometallic precursors are also provided. Such metal-containing films are particularly useful in the manufacture of electronic devices.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
1.683 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hatt, Anna Louise
London, Großbritannien
113
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
-
Beck Greener
Beck Greener · London