Verfahren zur Herstellung von Mems-Vorrichtungen mit Vergrabenen Kavitäten und auf Diese Weise Hergestellte Mems-Vorrichtung
EP2462050
Art B1
8. November 2017
Anmelder: STMicroelectronics Srl 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2462050
- Aktenzeichen
- EP10737938
- Anmeldetag
- 5. August 2010
- Veröffentlichung
- 8. November 2017
- Erteilung
- 8. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- STMicroelectronics Srl
- Land
- 🇮🇹 Italien
🇨🇭
STMicroelectronics International
Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
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