Verfahren zur Herstellung einer axialen Ausrichtung eines geladenen Teilchenstrahls und geladenes Teilchenstrahlsystem
EP2463887
Art A3
30. Juli 2014
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2463887
- Aktenzeichen
- EP11192488
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2011
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/22H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
288 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
Patente gesamt
33
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London
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Boult Wade Tennant · London