Verringerung von Rückstreuereignissen in dünnen Elektronendetektoren

EP2463888 Art B1 13. Februar 2013

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2463888
Aktenzeichen
EP10193887
Anmeldetag
7. Dezember 2010
Veröffentlichung
13. Februar 2013
Erteilung
13. Februar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/244H01J37/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI COMPANY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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