Trockenpumpe
EP2466141
Art A1
20. Juni 2012
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2466141
- Aktenzeichen
- EP10808231
- Anmeldetag
- 11. August 2010
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C29/04F04C18/18F04C23/00F04C25/02F04C29/00F04C18/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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