Verfahren zum Belüften einer Vakuumpumpe and Anordnung mit einer Vakuumpumpe

EP2466145 Art B1 13. Dezember 2017

Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2466145
Aktenzeichen
EP11008600
Anmeldetag
27. Oktober 2011
Veröffentlichung
13. Dezember 2017
Erteilung
13. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/00F04D27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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