Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2469340
Art B1
6. Januar 2021
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2469340
- Aktenzeichen
- EP11189700
- Anmeldetag
- 18. November 2011
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2021
- Erteilung
- 6. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands BV - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven