Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2469340
- Aktenzeichen
- EP11189700
- Anmeldetag
- 18. November 2011
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2021
- Erteilung
- 6. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands BV - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Fachgebiete
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven