Epitaktischer Siliciumcarbid-Wafer und Herstellungsverfahren dafür

EP2472568 Art B1 12. Januar 2022

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2472568
Aktenzeichen
EP10811903
Anmeldetag
25. August 2010
Veröffentlichung
12. Januar 2022
Erteilung
12. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/20C30B29/36H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Showa Denko K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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