Optische Vorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Laservorrichtung

EP2477069 Art B1 25. Juli 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2477069
Aktenzeichen: EP12150623
Anmeldetag: 10. Januar 2012
Veröffentlichung: 25. Juli 2018
Erteilung: 25. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/377G02F1/295G03F7/20H01S5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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