Siliciumreinigungsverfahren und Siliciumreinigungsvorrichtung

EP2479144 Art A1 25. Juli 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2479144
Aktenzeichen
EP10817285
Anmeldetag
17. September 2010
Veröffentlichung
25. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C01B33/037H05H1/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik

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