Amorphes Ge/Te Beschichtungsverfahren
EP2479313
Art A1
25. Juli 2012
Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2479313
- Aktenzeichen
- EP12164278
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/30H01L45/00C23C16/455C23C16/448C23C16/56C07F7/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advanced Technology Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Vertreten von
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-
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