Verfahren zur Aufbringung von Atomschicht-Ablagerungsschichten auf Porösen Nichtkeramischen Substraten

EP2480703 Art A1 1. August 2012

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2480703
Aktenzeichen: EP10819262
Anmeldetag: 15. September 2010
Veröffentlichung: 1. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/00H01L21/205C23C16/54C23C16/30C23C16/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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