Strahlinduzierte Abscheidung von Material mit niedrigem Widerstand
EP2481829
Art A3
12. September 2012
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2481829
- Aktenzeichen
- EP12152793
- Anmeldetag
- 27. Januar 2012
- Veröffentlichung
- 12. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/34C23C16/40C23C16/48H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte