Vorrichtung zur Formierung eines Ablagerungsfilms und Verfahren zur Formierung eines Ablagerungsfilms

EP2481831 Art A1 1. August 2012

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2481831
Aktenzeichen: EP10818862
Anmeldetag: 24. September 2010
Veröffentlichung: 1. August 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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