Verfahren zur Herstellung Gemusterter Strukturen aus Fluorhaltigen Polymermaterialen und Fluorhaltigen Polymeren

EP2491458 Art A2 29. August 2012

Anmelder: Cornell University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2491458
Aktenzeichen
EP10825580
Anmeldetag
20. Oktober 2010
Veröffentlichung
29. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F7/004H01L21/027G03F7/11H01L51/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cornell University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cornell University

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