Gastemperatur-/feuchtigkeitsregelungsverfahren und Gaszufuhrvorrichtung

EP2492605 Art A1 29. August 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2492605
Aktenzeichen
EP10824834
Anmeldetag
13. Oktober 2010
Veröffentlichung
29. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
F24F11/02F24F6/00F24F6/18C12M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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