Verfahren zum schnellen Schalten zwischen einem Hochstrommodus und einem Niederstrommodus in einem System mit geladenem Teilchenstrahl
EP2492950
Art B1
11. April 2018
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2492950
- Aktenzeichen
- EP12155691
- Anmeldetag
- 16. Februar 2012
- Veröffentlichung
- 11. April 2018
- Erteilung
- 11. April 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/30H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven