Strahlungsvorrichtung für Geladene Partikel und Verfahren zur Anzeige Dreidimensionaler Informationen in der Strahlungsvorrichtung für Geladene Partikel

EP2495748 Art B1 20. Dezember 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2495748
Aktenzeichen: EP10826621
Anmeldetag: 22. Oktober 2010
Veröffentlichung: 20. Dezember 2017
Erteilung: 20. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/20H01J37/26G01N23/225G01N23/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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