Verfahren und Vorrichtung zur Nanoimprintlithografie

EP2496989 Art B1 2. Oktober 2013

Anmelder: Danmarks Tekniske Universitet, NIL Technology APS 🇩🇰

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2496989
Aktenzeichen: EP10773564
Anmeldetag: 2. November 2010
Veröffentlichung: 2. Oktober 2013
Erteilung: 2. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Danmarks Tekniske Universitet
NIL Technology APS
Land: 🇩🇰 Dänemark

🇩🇰 Danmarks Tekniske Universitet

Dänische Technische Universität mit Sitz in Kongens Lyngby (DK), eine der führenden Ingenieurs- und Naturwissenschaftshochschulen des Landes. Die Patente stammen aus universitärer Forschung in Technik und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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