Fotolacksimulation

EP2499661 Art B1 8. August 2018

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2499661
Aktenzeichen
EP10830578
Anmeldetag
9. November 2010
Veröffentlichung
8. August 2018
Erteilung
8. August 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/30H01L21/027G03C5/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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