Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Membranvorrichtung und mikroelektromechanische Membranvorrichtung
Anmelder: STMicroelectronics Srl 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2500313
- Aktenzeichen
- EP12160022
- Anmeldetag
- 17. März 2012
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2014
- Erteilung
- 4. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00G01L9/00
Abstract
A process for manufacturing a microelectromechanical device envisages: forming a semiconductor structural layer (3) separated from a substrate (2) by a dielectric layer (4), and opening trenches (10) through the structural layer (3), as far as the dielectric layer (4). Sacrificial portion (4a) of the dielectric layer (4) are selectively removed through the trenches (10) in membrane regions (M) so as to free a corresponding portion of the structural layer (3) that forms a membrane (11). To close the trenches (10), the wafer (1) is brought to an annealing temperature for a time interval in such a way as to cause migration of the atoms of the membrane (11) so as to reach a minimum energy configuration.
Anmelder
- Firma
- STMicroelectronics Srl
- Land
- 🇮🇹 Italien
Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
4.265 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Studio Torta ist eine italienische IP-Boutique mit Büros in Turin, Mailand, Bologna, Rom, Treviso und Rimini, spezialisiert auf Patente, Marken, Designs und Sortenschutz, mit erkennbaren Schwerpunkten in Pharma sowie Agrar- und Lebensmittelprodukten.
-
Bergadano, Mirko
Studio Torta S.p.A · Torino
-
Jorio, Paolo
NoneTorino