Vorrichtung und Verfahren zur Steuerbaren Implantation von Werkstücken

EP2502254 Art A1 26. September 2012

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2502254
Aktenzeichen: EP10788436
Anmeldetag: 17. November 2010
Veröffentlichung: 26. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/32H01L21/265H01L21/266C23C14/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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