Sputtering-Target aus einem Oxidgesinterten Körper auf In-Ga-Zn-O-Basis mit Hervorragender Stabilität bei Langzeitlagerung

EP2503019 Art A1 26. September 2012

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2503019
Aktenzeichen: EP10831337
Anmeldetag: 18. November 2010
Veröffentlichung: 26. September 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C04B35/00H01L21/363

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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