Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Teilstrahlen
EP2503587
Art A3
23. August 2017
Anmelder: ASML Netherlands B.V., MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2503587
- Aktenzeichen
- EP12172592
- Anmeldetag
- 10. März 2004
- Veröffentlichung
- 23. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/063H01J37/12H01J37/153H01J3/07H01J37/317B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Peters, Sebastian Martinus
Den Haag, Niederlande
299
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31
Fachgebiete
14
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ASML Netherlands B.V · Veldhoven