Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Ätzen
EP2506294
Art B1
29. Juli 2015
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2506294
- Aktenzeichen
- EP12171753
- Anmeldetag
- 13. August 2009
- Veröffentlichung
- 29. Juli 2015
- Erteilung
- 29. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3065H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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