Integrierte Anode und aktivierte reaktive Gasquelle zur Verwendung in einer Magnetron-Sputtervorrichtung

EP2509100 Art B1 14. August 2019

Anmelder: Viavi Solutions Inc., JDS Uniphase Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2509100
Aktenzeichen
EP11183181
Anmeldetag
28. September 2011
Veröffentlichung
14. August 2019
Erteilung
14. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34C23C14/00H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Viavi Solutions Inc.
JDS Uniphase Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Viavi Solutions

US-amerikanisches Unternehmen für Netzwerk- und optische Messtechnik mit Sitz in Kalifornien. Viavi Solutions entwickelt Test-, Mess- und Überwachungslösungen für Telekommunikationsnetze und optische Anwendungen.

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