Entfernung eines Maskierungsmaterials
Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc., International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2510538
- Aktenzeichen
- EP10836729
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 17. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Advanced Technology Materials, Inc.
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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ABG Intellectual Property Law, S.L
ABG Intellectual Property Law, S.L · Madrid