Verfahren zur Verarbeitung eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen
EP2511764
Art B1
1. April 2020
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2511764
- Aktenzeichen
- EP12175894
- Anmeldetag
- 24. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 1. April 2020
- Erteilung
- 1. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/74H01J37/305H01J37/304C23C16/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Müller, Utz
Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte