Verfahren zur Verarbeitung eines Objekts mit miniaturisierten Strukturen
EP2511764
Art B1
1. April 2020
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2511764
- Aktenzeichen
- EP12175894
- Anmeldetag
- 24. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 1. April 2020
- Erteilung
- 1. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/74H01J37/305H01J37/304C23C16/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Müller, Utz
Jena, Deutschland
6
Patente gesamt
4
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte