Regelvorrichtung zur Regelung einer flächigen Anordnung individuell ansteuerbarer Strahlablenkungselemente in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP2511765
Art B1
3. April 2019
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2511765
- Aktenzeichen
- EP12005054
- Anmeldetag
- 6. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 3. April 2019
- Erteilung
- 3. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B26/08G05B13/04G01B11/27G01N21/55G01B11/00G01M11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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