Elektrostatische Aufspannvorrichtung
EP2511950
Art B1
20. März 2019
Anmelder: Tokyo Electron Limited, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2511950
- Aktenzeichen
- EP10835993
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 20. März 2019
- Erteilung
- 20. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/3065H01L21/31H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokyo Electron Limited
Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weitzel, Wolfgang
Heidenheim, Deutschland
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Patente gesamt
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Fachgebiete
8
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Weitere Vertreter
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Dr. Weitzel & Partner
Dr. Weitzel & Partner · Heidenheim