Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Herstellung von Halbleitleitern mittels Kontaminationsmessung
EP2513949
Art A1
24. Oktober 2012
Anmelder: Pfeiffer Vacuum, Adixen Vacuum Products 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2513949
- Aktenzeichen
- EP10798766
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Pfeiffer Vacuum
Adixen Vacuum Products - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Innovincia
Thonon-les-Bains, Frankreich
Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.
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