Polierverfahren, Poliervorrichtung und Polierinstrument
Anmelder: Osaka University, Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2513955
- Aktenzeichen
- EP10837715
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B37/00B24B49/12H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Osaka University
Ebara Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.